首頁    研磨分析測控    OLAM-F11在線研磨分析測控儀
                                    OLAM-F11
                                    OLAM-F11-2
                                    OLAM-F11-1
                                    OLAM-F11-3

                                    OLAM-F11在線研磨分析測控儀

                                    用于晶片研磨時的在線實時頻率測控和數據分析,實現對研磨工序的高效管控。

                                    高效的晶片在線研磨過程控制

                                     

                                    —傳統的研磨控制器,控制精度較低,多盤研磨時各盤中心頻率離散較大。

                                    —OLAM-F11,實現研磨過程中頻率的在線精密測量,真正做到停機就可收料,實現更少的作業員管理更多的研磨機;

                                      高頻表現比傳統方法尤為穩定。

                                     

                                    超凡高效

                                     

                                    —擁有超高采樣頻率以及響應速率,可應對5.5—80MHz產品要求。

                                    —無需中途抽測再補磨,停機即可收料,有效降低對作業員的技能要求。

                                    —多盤研磨比傳統控制方式盤間離散性降低50%,有效提升后制程效率,降低成本。

                                     

                                    提升管控

                                     

                                    —可連接MES系統,通過局域網下傳生產工單。

                                    —可連接條碼槍掃描工單,與局域網下傳到OLAM的工單信息進行核對,保障加工正確。

                                    —實時記錄和顯示研磨速率及盤內離散狀態,用戶可制定規范,優化制程。

                                    —全程自動記錄并存儲儀器的操作以及參數設置狀態,可追溯整個加工過程。

                                    —可輸出生產數據,提供對研磨變量的綜合智能化管控與分析的依據。

                                    —數據可通過局域網上傳至服務器或存儲至本機SD卡。

                                     

                                    校準補償

                                     

                                    針對不同研磨環境,可在人工輸入足夠多的修正點后,提供函數擬合工具進行全頻段擬合校準,使全頻段測試更加精確。

                                     

                                    可輸出內容

                                     

                                    —實時研磨頻率

                                    —實時諧振頻率

                                    —實時單片和整盤散差

                                    —諧振頻率變化圖

                                    —整盤散差變化圖

                                    —歷史操作記錄

                                    —異常狀態提示

                                     

                                    工作原理

                                     

                                    研磨機啟動后,OLAM掃描探測信號頻率,信號經過探頭耦合到上磨盤電極,當電極滑動到石英晶片上方時,檢測電路依據“動態搜索算法”找到晶片的有效諧振波形,并根據最大傳輸法原理得到晶片的實時諧振頻率平均值,當平均值達到目標頻率后,儀器發出關停指令,使研磨機停機。

                                     

                                    安全機制

                                     

                                    1. 初始頻率異常:開始進入研磨程序后,若檢測到實時頻率和輸入的初始頻率不符合時,將停機報警。

                                    2. 速率閾值異常:當實時研磨速率超過或小于設定范圍時,將停機報警。

                                    3. 散差閾值異常:當散差與設定范圍不符時,將彈出警示窗口。

                                    4. 頻率跟蹤異常:當實時頻率跟蹤異常時,將彈出警示對話框或停機報警。

                                    5. 圈數傳感器異常:OLAM在研磨或修盤狀態下,如果超過設定的時間沒有圈數信號進入,將停機報警。

                                    6. 停機異常:發出停機控制信號后機器未停,將報警。

                                    7. 接入異常:研磨機控制接口未與OLAM可靠連接,將報警。

                                    8. 權限管理:可設置不同的管理權限,防止參數誤修改。

                                     

                                    技術參數

                                     

                                    外形尺寸(長寬高)

                                    345*320*165mm

                                    重量

                                    7.5kg

                                    操控界面

                                    7英寸觸控屏

                                    適合晶片切型

                                    AT

                                    探測輸入

                                    全頻段探頭

                                    動態測頻范圍

                                    5.5-80MHz

                                    動態測頻精度

                                    <0.2%  2000ppm

                                    動態測頻速度

                                    250Hz Max

                                    數據傳輸

                                    以太網和SD存儲卡

                                     

                                     

                                     

                                     

                                     

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